Reinraumtechnik
Das Buch stellt den aktuellen Stand der Reinraumtechnik erstmals mit allen wesentlichen Teilgebieten dar. Die Anwendung der Reinraumtechnik in Schlüsseltechnologien wie Pharma und Mikroelektronik bildet einen weiteren Schwerpunkt der Publikation. Das Ziel des Buches ist die systematische Einführung...
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Format: | eBook |
Language: | German |
Published: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
2002, 2002
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Edition: | 1st ed. 2002 |
Series: | VDI-Buch
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Subjects: | |
Online Access: | |
Collection: | Springer Book Archives -2004 - Collection details see MPG.ReNa |
Summary: | Das Buch stellt den aktuellen Stand der Reinraumtechnik erstmals mit allen wesentlichen Teilgebieten dar. Die Anwendung der Reinraumtechnik in Schlüsseltechnologien wie Pharma und Mikroelektronik bildet einen weiteren Schwerpunkt der Publikation. Das Ziel des Buches ist die systematische Einführung in Teilgebiete sowie in traditionelle und neue Anwendungen. Es richtet sich ebenso an die Nutzer der Reinraumtechnik in allen Bereichen von Forschung und Industrie wie an die Planer reinraumtechnischer Einrichtungen und die Hersteller von Geräten und Ausrüstungen. Die Herausgeber und das Autorenteam sind der Reinraumtechnik seit Jahren als ausgewiesene Experten verbunden. Fachpublikationen und Ausschußtätigkeiten belegen ihre Einbindung in die weltweite Technologieentwicklung |
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Physical Description: | XIX, 508 S. 202 Abb online resource |
ISBN: | 9783662097342 |